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量程10 SCCM-3000 SLPM，优于2 %的精度，控制范围广，优于100 ms响应时间，适用于高压应用
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21Q系列气体质量流量控制器，同我们的标准控制器一样，能对需要较高管线压力（160-320 psia）的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能够快速实现稳定控制。?
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应用及案例
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● 大学/研究所? ? ? ? ? ? ? ? ?● 环境监测
● 真空行业及镀膜? ? ? ? ? ?● 工业炉窑
● 半? 导? 体? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 汽车制造
● 光? ? ? ?伏? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 燃料电池
● 计量校准? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?● 过程工艺气体测量
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产品特色
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● ?多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER?气体编辑器确定自己的气体组成。
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● ?连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
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● ?耐用。21Q系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
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精度升级
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量程为10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度? ? ? ? ?± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取最大值）
测量和控制范围? ? ? ? ? ? ?0.1 ~ 100%满量程
重复性? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.1%满量程
质量流量零点漂移? ? ? ? ± 0.01%满量程/ ℃温差?
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.01%满量程/ Atm压力差
质量流量量程漂移? ? ? ? ± 0.01%读 数/ ℃温差?
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ± 0.1 %读 数/ Atm压力差
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性能指标
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介质要求??? 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类??? 内置了98种气体，请参考气体兼容表
? ? ? ? ? ? ? ? ? 一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量? ? ? ?程? ? 从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（详情请咨询）
测量和控制范围? ? 0.5% ~ 100%满量程
最大显示流量??? 高达128%满量程（取决于气体）
最大可控流量??? 102.4%满量程
显? 示? 屏??? 带集成触摸板的单色LCD或彩色TFT显示器
显示方式??? 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度
精? ? ? ?度??? ± 2%满量程??精度升级见上段
重? 复? 性??? ± 2%满量程
零点漂移&满量程漂移??? 0.02% 满量程/ ℃/ Atm
响应时间??? 优于100 ms
预热时间??? ＜1s
标定工况??? 25 ℃&1Atm（其它标况可调）
工作温度??? -10 ～ 60 ℃（可选高温选项至100℃）
温度精度?? ?± 0.75℃
工作湿度??? 0 ~ 100%
最大工作压力??? 320 psia
满量程压损??? 参考详细压损表
数据刷新频率??? 数字信号40Hz@19200波特率；
? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率??? 10Hz
数字输入/输出信号??? RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT
模拟输入/输出信号??? 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出??? 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模拟信号精度?? ?在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差
供电电压 ????12 - 30 VDC （15 - 30 VDC用于4 - 20 mA输出）
供电电流?? ?0.250 A
电气接口??? DB9，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN、8-pin M12
泄漏率（外漏）??? 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He?
材? ? ? ?质??? 303和302不锈钢、Viton?、热固化硅橡胶、玻璃增强聚苯硫醚、热固化环氧树脂、铝、金、黄铜、430FR 不锈钢、硅、玻璃。如果您申请需要其它材料，请联系我们。
过程连接??? 详情参考压损表
安装方式??? 对位置无要求
防护等级??? IP40
认? ? ? ?证??? ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
?*如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需来电垂询
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选项配件
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（需另行订购）
● ?过程端口接头和过滤器
● ?电源
● ?通讯线缆和转换线缆
● ?BB3和BB9多点式集线盒
● ?Flow Vision软件
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包装清单
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● ?MCQ系列高压气体质量流量控制器（电源需另行订购）
● ?NIST可溯源校准证书
● ?艾里卡特操作说明书
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尺寸详图
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尺寸压损
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满量程质量流量控制器
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满量程压损（PSID）
排气到大气中
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机械尺寸1
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过程连接2
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10 SCCM ~ 50 SCCM
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1.0
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4.4''H x ? 3.4''W x 1.1''D
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M-5?（10-32）（内螺纹）
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100 SCCM ~ 500 SCCM
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1.0
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4.6''H x ? 3.6''W x 1.1''D
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1/8'' NPT?内螺纹
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1 SLPM
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1.5
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2 SLPM
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3.0
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5 SLPM
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2.0
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10 SLPM
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5.5
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20 SLPM
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20.0
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50 SLPM
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9.0
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5.7''H x ? 7.7''W x 2.3''D
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1/4'' NPT?内螺纹
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100 SLPM
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2.6
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250 SLPM
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4.6
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6.0''H x ? 7.7''W x 2.3''D
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1/2'' NPT?内螺纹
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500 SLPM
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6.5
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6.0''H x ? 7.3''W x 2.3''D
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3/4'' NPT?内螺纹
（A 1-1/4” NPT?内螺纹可选过程连接
可用于2000 slpm?流量计）
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1000 SLPM
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14.0
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1500 SLPM
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17.0
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2000 SLPM
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28.6
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6.0''H x ? 8.1''W x 2.9''D
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3000 SLPM
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16.8
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6.0''H x ? 8.9''W x 2.9''D
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1-1/4'' NPT?内螺纹
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注1、公制数据见图纸；
2、与Swagelok?管、Parker?、表面密封、快接接头和卡套转接头相兼容，也可根据要求连接VCR和SAE。
3、与M-5?（10-32）外丁腈橡胶O形圈表面密封至1/8''NPT内螺纹接头一起装箱。
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产品大图
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